爱思达激光曝光机勇越世界高科技性价比高

yihouduoshi · 发表于 2015-8-14 09:45:00

高精细线路激光直写曝光机ALDI-PMS系列是正业研发的3~5um高精细线路生产，适用于触摸屏metal mesh、LED、MEMS、半导体封装、TFT/OLED等领域黄光制程精细线路制作。主要有三大独特技术：一、黄光制程metal mesh技术黄光制程制作metal mesh替代ITO作为导电电极，不受基材限制，柔性铜膜、玻璃MoAIMo金属网格图形制作均可，样品制作、批量生产方便快捷；二、小片拼版曝光技术小片拼接大片制程可自动抓取每小片位置，填充曝光图形，形成数字化掩膜板，实施曝光，适用于触摸屏、晶圆、LED等小片拼版曝光，不受小片摆放位置偏差影响，提高单片曝光效率。三、多光引擎扫描技术整合多个光引擎，实现多头同步扫描，低拼接误差，可以根据客户需求灵活升级。主要技术参数如下：
技术参数
波长       405nm
基板厚度       0~20mm
数据分辨率       0.2um
曝光速度       0.1m2/min
最大基板面积       820x700mm
有效曝光面积       812x610mm
最小线宽和CD均匀性       3um±10%@

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